催化剂刻蚀方式对碳纳米管形貌的影响 (2013年)

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文件名称：催化剂刻蚀方式对碳纳米管形貌的影响 (2013年)

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更新时间：2024-05-26 13:01:06

自然科学 论文

采用等离子体增强化学气相沉积技术，以C2H2、H2和N2为反应气体，制备出碳纳米管薄膜．利用扫描电镜(SEM)和拉曼光谱仪对其进行表征．结果表明，催化剂刻蚀方式对碳纳米管薄膜的生长起着重要作用，获得定向性好、密度适中、杂质缺陷少的碳纳米管的最合适的刻蚀方式为热刻蚀．