文件名称:硼掺杂对碳纳米管形貌和结构的影响 (2005年)
文件大小:185KB
文件格式:PDF
更新时间:2024-06-14 09:09:46
自然科学 论文
摘要:以Fe纳米粒子为催化剂,CH和H为气源,采用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积技术(ECR-CVD)在多孔硅基底上制备出了掺硼碳纳米管薄膜·使用扫描电子
文件名称:硼掺杂对碳纳米管形貌和结构的影响 (2005年)
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更新时间:2024-06-14 09:09:46
自然科学 论文
摘要:以Fe纳米粒子为催化剂,CH和H为气源,采用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积技术(ECR-CVD)在多孔硅基底上制备出了掺硼碳纳米管薄膜·使用扫描电子