薄膜样品X射线能量色散谱仪测试方法研究 (2010年)

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文件名称：薄膜样品X射线能量色散谱仪测试方法研究 (2010年)
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更新时间：2021-05-30 16:38:10
自然科学 论文 利用能量色散谱仪（EDS）对铜基材镍磷薄膜样品进行成分分析，研究扫描电镜（SEM）不同加速电压和能谱采集率对薄膜样品所含元素定量结果的影响。结果表明：加速电压影响薄膜样品中各元素绝对定量结果，并对膜层中P、Ni元素的质量比产生一定的影响；但在相同的加速电压条件下，能谱采集率的高低对样品中各元素绝对定量结果以及膜层中P、Ni元素的质量比影响较小。