介电可调薄膜材料及压控微波器件研究 (2009年)

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文件名称：介电可调薄膜材料及压控微波器件研究 (2009年)
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更新时间：2021-05-23 16:10:57
自然科学 论文 利用介电可调薄膜材料的调谐特性研制的介质压控微波器件高频特性好、功率容量大、响应速度快,还有易集成、功耗小、成本低、可靠性高的特点,相比半导体管、铁氧体以及MEMS器件有明显的优势。该文系统介绍了近年来国内外介电可调薄膜材料及压控微波器件的研究进展,并结合作者的工作评述了介电可调薄膜材料和压控微波器件的应用情况。除研究最为集中的钛酸锶钡Ba x Sr 1-x TiO 3 (BST)材料,还介绍了具有较高调谐率的铋基焦绿石铌酸铋镁Bi 1.5 MgNb 1.5 O 7 (BMN)薄膜材料,该材料介电损耗低(