文件名称：基于光诱导的电动流体不稳定性的流体薄膜微图案化
文件大小：1.87MB
文件格式：PDF
更新时间：2024-04-27 20:00:20
Electrohydrodynamic instability; Optically induced electrokinetics;
投影光图案用于在夹在两个电极之间的聚合物薄膜中引起电流体动力学不稳定性。 利用这种光诱导的电动流体动力学不稳定性（OEHI）现象，我们成功地证明了在铟钛氧化物玻璃基板顶部的薄膜氢化非晶硅层上快速，微型地图案化了聚二甲基硅氧烷（PDMS）柱阵列。 该玻璃基板是具有微米级间隙的两电极，平行板电容器配置中的底部电极。 在该间隙内是旋涂的PDMS薄膜和空气薄层。 首先在投影图案的黑暗区域中的5-90 s内观察到主要的柱状生长，当初始PDMS厚度<2μm时，柱状生长最终扩散到照明区域。 表征Struts直径变化（直径在15至30μm之间）的实验数据表明，可以通过控制施加的直流电压将它们与柱间间距（保持与Struts中心之间的间距为84μm的常数类似）解耦（介于110至210 V之间）。 实验结果还表明，光诱导的横向电场对控制立柱形成的重要性。 这种快速生成柱的OEHI方法具有电压控制柱直径和通过投影光图案控制柱位置的方法，为低成本，高效且简单地制造可以使用的微米级和纳米级聚合物结构提供了新的机遇在许多bioMEMS应用中。