光刻图形转移技术 (2014年)

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文件名称：光刻图形转移技术 (2014年)

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更新时间：2024-06-02 11:35:33

自然科学 论文

通过对预烘、光刻胶旋涂、软烘焙、对准曝光、后烘、显影、坚膜的光刻工艺过程分析，主要介绍了光刻工艺中容易出现的问题及解决方法，并通过实验和分析得出了可靠的技术方案．