【文件属性】：
文件名称：微电子制造工艺讲义！！
文件大小：1.83MB
文件格式：RAR
更新时间：2012-12-01 08:42:35
微电子 工艺
里面介绍了：扩散 非光学光刻技术 光刻胶 光学光刻 刻蚀 离子注入 热氧化 真空科学和等离子体 等知识！！
【文件预览】：
微电子制造工艺
----离子注入.pdf(310KB)
----刻蚀（etching）.pdf(205KB)
----introduction（引论）.pdf(336KB)
----非光学光刻技术.pdf(326KB)
----光刻胶.pdf(161KB)
----光学光刻.pdf(235KB)
----diffusion（扩散）.pdf(189KB)
----真空科学和等离子体.pdf(153KB)
----热氧化.pdf(234KB)