MOCVD制备的Mo_2C膜粗糙度研究 (2000年)

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文件名称：MOCVD制备的Mo_2C膜粗糙度研究 (2000年)

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更新时间：2024-06-20 07:43:13

自然科学 论文

介绍了金属有机气相沉积(MOCVD)制备Mo2 C膜的过程和对膜表面粗糙度的测量结果;在测量基础上进行统计,找出Mo2 C膜的高差分布;应用非平衡统计理论导出表面高差分布公式.结果表明实际测量与理论推导结果一致。