Mo_2C膜表面粗糙度随温度和时间变化规律的研究 (2002年)

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文件名称：Mo_2C膜表面粗糙度随温度和时间变化规律的研究 (2002年)

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更新时间：2024-05-29 20:00:40

自然科学 论文

对以羰基金属气相沉积制备的Mo2 C膜表面粗糙度进行了测量;在测量基础上进行统计,找出了表面高度分布并确定表面粗糙度随时间和温度的变化规律.结果表明:Mo2 C膜表面粗糙化属快速粗糙化,粗糙度随时间的变化具有标度函数的特征;粗糙度随基底温度升高而增大。