磁控溅射制备TiCN复合膜的微结构与性能 (2012年)

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文件名称：磁控溅射制备TiCN复合膜的微结构与性能 (2012年)

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更新时间：2024-06-14 06:47:49

工程技术 论文

摘要：通过磁控溅射技术制备一系列不同石墨靶功率的TiCN复合膜。分别利用X射线衍射仪、纳米压痕仪和高温摩擦磨损仪研究薄膜的微观结构、力学性能及室温和高温摩擦磨损