微颗粒表面磁控溅射镀金属膜实验 (2006年)

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文件名称：微颗粒表面磁控溅射镀金属膜实验 (2006年)
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更新时间：2021-05-21 05:50:52
自然科学 论文 采用磁控溅射方法,成功地在微颗粒表面沉积了金属铜膜和金属镍膜。利用光学显微镜( OM)、场发射扫描电子显微镜( FESEM)、能谱仪( EDS)、多功能扫描探针显微镜( SPM)、电感耦合等离子体发射光谱仪( ICP-AES)和光电子能谱仪( XPS)等测试仪器对其表面形貌、膜厚和组份进行了表征。重点讨论了不同的沉积条件对薄膜结晶的影响,并用X射线衍射仪( XRD)对其进行了表征。结果表明,溅射镀膜时,通过控制微颗粒的运动方式,可以在微颗粒表面镀上均匀性好、附着力强和致密性好的金属膜。溅射时间越长或溅射功