文件名称：超大口径凹非球面反射镜的动态干涉测量技术 (2010年)
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更新时间：2024-06-06 12:33:36
自然科学 论文
为了克服超长光路造成的振动和大气扰动的影响，采用动态干涉测量结合补偿法进行超大12径凹非球面的精密检测。通过分析超大口径凹非球面反射镜检测的难点，采用动态干涉仪克服检测中振动和大气-扰动，并利用Zemax光学设计软件，以12径3.5m的凹非球面反射镜为例设计了干涉补偿光路。误差分析结果表明，采用动态干涉仪和补偿法进行超大口径凹非球面反射镜面形检测，不仅可以克服振动和大气扰动的影响，还能达到λ/90以上的检测精度。