文件名称:一种晶圆搬运机械手的运动学仿真研究.
文件大小:655KB
文件格式:PDF
更新时间:2021-04-22 11:13:38
晶圆机器人 运动学
对一种搬运机械手的结构及相关参数进行了设计,介绍了该机械手的运动原理,运用代数法对机械手的关节 角和末端执行器坐标之间的关系进行了数学计算,得到了机械手的运动学方程。
文件名称:一种晶圆搬运机械手的运动学仿真研究.
文件大小:655KB
文件格式:PDF
更新时间:2021-04-22 11:13:38
晶圆机器人 运动学
对一种搬运机械手的结构及相关参数进行了设计,介绍了该机械手的运动原理,运用代数法对机械手的关节 角和末端执行器坐标之间的关系进行了数学计算,得到了机械手的运动学方程。