文件名称：矩形微悬臂梁的流固祸合谐振频率分析 (2013年)
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更新时间：2024-06-09 23:48:27
工程技术 论文
为了得到矩形微悬臂梁的谐振频率与流体密度的理论关系式,建立了微悬臂梁与流体的藕合振动微分方程。通过叠加微悬臂梁的真空振型替代微悬臂梁的流固藕合振型,将流体对微悬臂梁的影响转换为流体动压力,利用真空振型的正交性对振动微分方程进行求解,从而得到悬臂梁谐振频率与流体密度的函数关系。在此基础上,对浸没于10～30℃正庚烷和异辛烷中的单晶硅微悬臂梁的谐振频率进行理论计算、仿真分析和实验测量,将谐振频率的理论计算值分别与仿真和实验值进行比较,结果表明:理论值和仿真值的绝对偏差低于2.8%,理论值和实验值的绝对偏差低于