文件名称：化学气相浸渗反应器内气体流场的数值模拟 (2005年)
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更新时间：2024-05-30 14:15:46
自然科学 论文
控制化学气相浸渗（CVI）反应器内的反应气体流场是获得理想沉积物的关键技术之一，通过建立质量守恒、动量守恒、能量守恒和化学反应守恒4个微分方程及其边界条件，采用有限单元法对CVI反应器中复杂且不可观察的气体流场进行数值计算。数值计算结果表明，喷嘴形状及其与衬底相对位置对流场形貌有显著影响。采用π/6的斜口喷嘴，并使其中心轴线与通过它和圆柱形衬底交点切线的夹角为π/6时，反应器内基本消除了回流。