文件名称：烧结气氛和温度对In2O3和SnO2及其混合粉烧结行为的影响 (2014年)
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更新时间：2024-05-14 18:09:33
工程技术 论文
采用XRD、SEM和XRF等表征方法研究In2O3、SnO2及其混合粉(In2O3与SnO2质量比为9:1)在N2、空气及O2气氛下于1 300~1 600 ℃烧结过程中的粉末分解质量损失、反应固溶、新相生成及孔洞形成等行为，以期为高密度铟锡氧化物(ITO)靶材制备奠定基础。结果表明：在1300~1600 ℃高温烧结中，In2O3和SnO2均分解升华， SnO2较In2O3更易于分解，增大烧结气氛的氧分压，有利于抑制分解反应的发生；在O2气氛下，ITO粉在1 500 ℃开始显著分解产生质量损失；ITO粉在