MEMS微半球谐振陀螺的力反馈模态及其FPGA平台实现-论文

【文件属性】：

文件名称：MEMS微半球谐振陀螺的力反馈模态及其FPGA平台实现-论文

文件大小：4.39MB

文件格式：PDF

更新时间：2024-06-07 04:38:30

mems 半球 谐振 陀螺 反馈

MEMS微半球谐振陀螺的力反馈模态及其FPGA平台实现