现代干涉测量技术论文（研究现状）

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文件名称：现代干涉测量技术论文（研究现状）

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更新时间：2013-01-23 14:07:25

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非球面光学元件应用越来越广泛,其测量技术非常关键。检测非球面元件的方法有很多种。本文对非球面光学元件的面形测量方法，测量原理，研究现状，关键技术行了介绍