文件名称：PLD法制备纳米氧化锌薄膜 (2007年)
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更新时间：2024-05-26 10:42:34
自然科学 论文
目的 研究制备高质量的纳米ZnO薄膜的最佳方案。方法 通过反应条件和工艺参数的控制，用PLD法制备纳米氧化锌薄膜，对所制备的纳米氧化锌薄膜进行XRD谱研究，采用原子显微镜观察其形貌并研究氧化锌薄膜的各种光学性质。结果 在激光脉冲能量为150mJ、氧气压为20Pa条件下制备出了高质量的c轴择优取向的纳米氧化锌薄膜。结论 制备工艺参数的控制对其性质有着极其重要的影响。