热CVD法制备纳米硅粉及其表征 (2008年)

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文件名称：热CVD法制备纳米硅粉及其表征 (2008年)
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更新时间：2021-05-25 06:33:46
自然科学 论文 采用简单的热CVD反应法成功制备了纳米硅粉、X射线衍射和透射电镜结果表明：该产物是无定形的球形纳米粉体，粒径为20～100 nm．粉体粒径随分解温度敏感，温度升高粒径减小，但高于700℃时急剧增加．傅立叶红外分析表明，粉体存在si-H键，且H含量随分解温度升高而降低．进一步研究表明，该无定形纳米硅粉经700℃退火处理可转变为晶体硅．