文件名称：用于神经接口的硅基线电极阵列
文件大小：1.62MB
文件格式：PDF
更新时间：2024-04-05 20:01:27
wire-type; microelectrode array; neural probe
目标。 金属线电极阵列被广泛用于记录和刺激神经元。 通常，这些设备是由较长的绝缘金属线制成的，方法是将其切成适当的长度，并将横截面用作电极位置。 具有规则间隔的微线电极阵列的组装是困难的。 借助微机械技术，提出了一种硅基线电极阵列（SWEA），以简化组装过程，并提供一种带有锥形尖端的线型电极。 方法。 通过微细加工从硅晶圆产生具有规则间隔的金属涂层的硅线，并将其排序为3D阵列。 通过各向异性蚀刻将硅晶片切割成在两侧具有六边形齿的梳状结构。 为了通过各向同性湿法刻蚀建立一系列硅基线性针，要减小这些六角形齿的直径。 它们的锋利边缘被磨平，尖端被锐化。 在金属化之后，针阵列涂覆有聚对二甲苯层。 然后将针尖暴露以形成线性神经电极阵列。 利用这些线性电极阵列，可以制造区域电极的阵列。 主要结果。 使用这种方法开发了6 x 6的基于硅的线型电极阵列。 随着微加工2D阵列的引入，手动组装3D阵列所需的时间显着减少。 同时，二维阵列中的尖端间隔是准确的，并且被控制在不超过1％。 SWEA在体外和体内均有效。 意义。 使用这种方法，可以预先批量制备SWEA及其参数，例如间距，长度和直径。 因此，神经科学