数字光栅测振传感器性能分析与测试 (2005年)

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文件名称：数字光栅测振传感器性能分析与测试 (2005年)

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更新时间：2024-06-12 08:42:32

自然科学 论文

为完善光栅测振传感器的性能，将光栅莫尔条纹技术应用到振动测量，在完成光栅测振传感器原理性实验的基础上，进行了理论分析，并就其特性进行了实验研究。通过构建高精度光栅传感器测试系统，对传感器的静动态特性进行深入研究，并建立了动态模型。实验证明，光栅测振传感器分辨力可达0.025μm，动态频率误差小于1.5%，振幅误差小于3.8%。