多晶硅生产工艺流程

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文件名称：多晶硅生产工艺流程
文件大小：16KB
文件格式：DOC
更新时间：2020-12-22 10:33:44
湿法清洗设备 多晶硅生产工艺流程,多晶硅最主要的工艺包括，三氯氢硅合成、四氯化硅的热氢化（有的采用氯氢化），精馏，还原，尾气回收，还有一些小的主项，制氢、氯化氢合成、废气废液的处理、硅棒的整理等等。