文件名称：前驱体溶液浓度对LaNiO3薄膜结构及导电性能的影响 (2006年)
文件大小：2.16MB
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更新时间：2024-05-11 12:55:16
自然科学 论文
采用溶胶-凝胶（sol-gel）法，使用浓度分别为0.1M、0.2M和0.3M的前驱体溶液，在单晶Si（100）衬底上制备了LaNiO3（LNO）导电薄膜。研究了前驱体溶液浓度对LNO薄膜结构和导电性能的影响。X射线衍射测试表明。三种样品均为纯的钙钛矿相，具有较好的（110）择优取向。扫描电子显微镜截面分析显示，用0.2M前驱体溶液制备的LNO薄膜样品厚度均匀，与Si衬底问没有明显扩散。采用标准四探针法测试了三种样品的电阻率，当前驱体溶液浓度为0.2M时，样品电阻率最小，仅为2.08×10-3Ω?cm，具