表面涂层制作 时间:2017-12-16 13:43:02 【文件属性】: 文件名称:表面涂层制作 文件大小:202KB 文件格式:PDF 更新时间:2017-12-16 13:43:02 PECVD 沉积 氮化硅 本文讲述了PECVD法制备氮化硅涂层的工艺方法,可供大家参考。 立即下载