文件名称:光刻原理和技术.ppt-综合文档
文件大小:3.38MB
文件格式:ZIP
更新时间:2024-06-08 14:55:05
光刻 原理 技术 ppt
光刻原理和技术.ppt光刻原理和技术.ppt8.2光刻工艺流程 8.3光刻光学 8.5先进的曝光技术 光刻是IC制造业中最为重要的一道工艺•每三年尺寸减小 0.7X. •硅片制造工艺...
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光刻原理和技术.ppt光刻原理和技术.ppt8.2光刻工艺流程 8.3光刻光学 8.5先进的曝光技术 光刻是IC制造业中最为重要的一道工艺•每三年尺寸减小 0.7X. •硅片制造工艺...