光刻原理和技术资料-综合文档

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更新时间：2024-06-09 12:55:24

光刻 原理 技术资料

光刻原理和技术资料光刻技术的原理光刻就是把芯片制作所需要的线路与功能区做出来。利用光刻机发出的光通过具有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片曝光,光刻胶见光后会发生性质变化,从而

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