通过多步骤Si +注入来硬化绝缘体上硅nMOSFET

【文件属性】：

文件名称：通过多步骤Si +注入来硬化绝缘体上硅nMOSFET

文件大小：1.7MB

文件格式：PDF

更新时间：2024-05-15 19:24:32

研究论文

通过多步骤Si +注入来硬化绝缘体上硅nMOSFET