文件名称：硅圆片表面活化工艺参数优化研究* (2011年)
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更新时间：2024-06-09 20:51:28
工程技术 论文
利用正交实验，对单晶硅表面活化工艺中重要参数对活化效果的影响进行了研究，并优化了工艺。实验针对RCA活化溶液处理工艺的特点，选择溶液配比、处理时间和温度3个重要因素为研究对象，以30％盐水为测试液，以接触角为指标，评估了这3个因素对活化效果的影响规律。对实验结果的分析表明，在此三因素中，活化温度与活化效果的关系最密切，活化液配比和活化时间的影响依次减弱。根据实验分析的结果，得到优化的工艺。利用此优化工艺进行了硅圆片键合实验，其结果表明此工艺能够实现无明显界面缺陷的直接键合。