文件名称：单片集成pH值传感芯片的设计和研究 (2011年)
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更新时间：2024-06-01 18:53:23
自然科学 论文
基于标准0.6μm CMOS工艺设计了单片集成pH值传感芯片.传感单元MOS管采用多层悬浮栅结构，氮化硅钝化层作为氢离子敏感层.片上信号处理电路恒定传感单元MOS管的源漏电压和源漏电流，控制传感单元输出电压与溶液pH值呈线性关系.传感芯片采用离子敏传感单元和参考单元的差分拓扑结构，减少电路的固定模式噪声.pH值传感芯片经实测在pH值1～13范围内的平均灵敏度为35.8 mV／pH.