氢化非晶碳化硅薄膜的RF-PECVD沉积和光学性质

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文件名称：氢化非晶碳化硅薄膜的RF-PECVD沉积和光学性质

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更新时间：2024-05-15 08:41:06

研究论文

氢化非晶碳化硅薄膜的RF-PECVD沉积和光学性质