文件名称：AlN陶瓷表面状态对 Ti/Ni金属化薄膜粘结性能的影响 (2011年)
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更新时间：2024-06-14 01:34:44
工程技术 论文
采用电子束蒸发技术在 AlN衬底上蒸镀 Ti/Ni双层金属化薄膜,通过 SEM、EDS和 AES等方法分析抛光 AlN表面状态及与金属化薄膜间的相互作用。结果表明:离子束清洗可去除 AlN衬底表面疏松层,改变 AlN衬 底表面状态,提高衬底表面能。结合热蒸发原子的作用,膜基界面处 Al、N和 Ti元素之间产生相互扩散现象,AlN陶瓷和 Ti膜的附着机制由未清洗前的简单附着改变为扩散附着,极大提高了金属化薄膜粘结性能,其拉脱强 度达300 MPa以上,且无需后续退火处理。