文件名称：ViennaTS:维也纳地形模拟器-开源
文件大小：7.41MB
文件格式：BZ2
更新时间：2024-05-18 13:51:31
开源软件
ViennaTS是一种C ++，OpenMP并行化拓扑模拟器，专注于微电子和纳米电子学的处理挑战。 水平集框架是其核心，它允许隐式描述材料表面和界面。 在此框架内，已实现了用于几何操作的模型，例如布尔运算和化学机械平面化。 该工具支持多种蚀刻和沉积模型，这对于理解微电子和纳米电子学中的过程诱发现象至关重要。 模型支持包括但不限于SF6 / O2和HBr / O2等离子体中的硅蚀刻，CF4等离子体中的二氧化硅蚀刻，硅的各向异性湿法蚀刻，硅上的CFx聚合物沉积以及几种适用的沉积模型。 ViennaTS目前处于原型状态； 开发是在GitHub上完成的：https：//github.com/viennats/viennats-dev