文件名称：CMOSMEMS集成方法的优点与弊端分析.zip
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更新时间：2022-08-12 11:02:18
传感技术
CMOS-MEMS集成可以改善MEMS（微机电系统）的性能，允许更小的封装并导致更低的封装和仪器成本。 正如本文所论述的那样，处理CMOS以上的MEMS是最有前途的CMOS-MEMS集成方法，但它限制了MEMS处理的热预算。 与Poly-Si相比，Poly-Si为MEMS应用提供了所需的材料特性，其温度显着降低。本文将研究CMOS集成SiGe陀螺仪的案例。
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eetop.cn_CMOS MEMS.pdf
eetop.cn_CMOS-MEMS Integration.pdf