论文研究-铝垫工艺晶须缺陷的改善及管控 .pdf

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文件名称：论文研究-铝垫工艺晶须缺陷的改善及管控 .pdf

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更新时间：2022-09-08 05:39:04

铝垫工艺

铝垫工艺晶须缺陷的改善及管控，柳小敏，黄其煜，随着集成电路线宽尺寸的减小，对各工艺层缺陷的消除及管控变得更加重要。晶须缺陷是铝垫工艺中的一种常见缺陷，它会阻挡铝刻蚀工