GaN薄膜光学常数的椭圆偏振光谱研究 (2007年)

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文件名称：GaN薄膜光学常数的椭圆偏振光谱研究 (2007年)

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更新时间：2024-06-09 23:34:22

自然科学 论文

采用椭圆偏振光谱法，在1.5～6.5eV光谱范围研究了纤锌矿结构GaN外延薄膜。通过物理模型建立和光谱拟合得到了GaN外延薄膜的厚度和光学常数，所得厚度值与扫描电子显微镜测量的结果相差仅为0.4%。表明所采用的模型和Cauchy吸收色散表式适用于GaN薄膜，进一步采用四相逐点拟合算法得到更全面更准确的GaN薄膜光学常数。