文件名称：纳米多孔TiO2薄膜的制备与表征 (2012年)
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更新时间：2024-05-16 17:06:44
自然科学 论文
以TiCl4为前躯体，两亲性三嵌段共聚物F38为模板剂，Si(100)为衬底，采用溶胶凝胶法和旋涂涂膜工艺，制备了孔径可调的纳米多孔TiO2薄膜．研究了聚合物模板浓度与TiO2薄膜的纳米孔形态的关系．随着模板剂含量的增加，薄膜中介孔密度随之增加，约大于15％便发生介孔连通，连通后介孔成蠕虫状．同时，研究了不同的退火温度及退火方式对纳米TiO2薄膜晶相的影响．单次退火4 h(600～800℃)为锐钛矿相、热稳定性好，而等时退火容易生成锐钛矿相／金红石相的混晶．