微纳结构几何特征检测技术的研究现状与发展趋势 (2015年)

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文件名称：微纳结构几何特征检测技术的研究现状与发展趋势 (2015年)

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更新时间：2024-06-03 05:30:04

工程技术 论文

摘要:微纳结构的几何特征对微纳结构功能器件的性能有着至关重要的影响研究如何对微纳结构的几何特征进行高效超精密检测是发展微纳结构功能器件的必然要求评述了现有的检测