MOCVD法制备Fe/Mo功能梯度材料 (2004年)

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文件名称：MOCVD法制备Fe/Mo功能梯度材料 (2004年)

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更新时间：2024-06-20 07:45:49

自然科学 论文

利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法,以Mo(CO) CO),,Fe (CO)5为物源,在Al203陶瓷基片上制备了 Fe/ Mo功能梯度材料,并用XPS,XRD,SFM和台阶仪等技术对其成分分布、物相组成、表面形貌和厚度进行测试和表征。结果表明:材料的组成沿厚度方向呈连续梯度变化,符合功能梯度材料的变化规律。