基于白光干涉原理的微齿轮几何特征检测 (2013年)

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文件名称：基于白光干涉原理的微齿轮几何特征检测 (2013年)

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更新时间：2024-07-03 08:54:05

自然科学 论文

将垂直扫描白光干涉(VSI)测量方法应用于微齿轮的几何特性检测中，该方法具有非接触、大量程、高精度、高效率等特点，水平分辨力为亚微米级，垂直分辨力可以达到纳米量级，并通过Hilbert变换法提取包络峰值来恢复被测表面的三维形貌尺寸。研究结果表明，垂直扫描白光干涉测量方法能够实现微齿轮几何特性的检测，满足设计中提出的精度要求。