文件名称：关于光学元件面形评价参数峰谷值 (PV)的分析 (2010年)
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更新时间：2024-06-10 03:09:59
工程技术 论文
光学元件的表面面形或波前质量一般采用数字指标峰谷值PV (表面最高点和最低点之 差)来评价。而两点PV在高分辨率干涉仪的测量结果中具有很大不确定性。为了更准确地评价 光学元件的表面面形或波前质量,讨论了针对两点PV进行改进后的评价方式PV20,PVr,PVq。 通过模拟实验证明其可以描述真实波面,并在实验中证明其可以消除灰尘等杂点对测量结果带来 的干扰,以及这几种评价方式对CCD分辩率的变化不敏感,并发现上述3种方式在测量重复性方 面也有较好的表现。