MEMS微加速度计及陀螺仪.docx

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文件名称：MEMS微加速度计及陀螺仪.docx

文件大小：290KB

文件格式：DOCX

更新时间：2022-07-30 17:44:24

微加速度计 陀螺仪

本资源介绍了微加速度计的工作原理；震荡式MEMS陀螺仪的基本原理