MEMS陀螺仪原理.pdf

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文件名称：MEMS陀螺仪原理.pdf

文件大小：200KB

文件格式：PDF

更新时间：2022-07-10 07:33:08

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mems 陀螺仪 即硅微机电陀螺仪，绝大多数的 MEMS 陀螺仪依赖于相互正交的振 动和转动引起的交变科里奥利力。 MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)是指集 机械元素、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一 体的完整微型机电系统