文件名称：π形梁厚膜压阻式加速度传感器研究与设计 (2013年)
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更新时间：2024-06-11 11:51:58
自然科学 论文
介绍了一种新型的基于陶瓷基片加工工艺的π形梁15000m/s2厚膜压阻式加速度传感器。在加工过程中采用厚膜工艺与梁加工成型工艺,从而保证了梁结构的完整性。分析了该传感器的结构参数和灵敏度,同时介绍了其工艺流程及封装后的测试结果。基片尺寸为15mm×6mm×1mm,其中敏感质量块尺寸为6m×6mm×1mm,梁尺寸为3mm×6mm×0.3mm。经初步测试,在采用12V电源供电时灵敏度为0.0024mVs2/m左右,响应频率为1.29kHz。