论文研究-栅极刻蚀中点状腐蚀缺陷的预防 .pdf

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文件名称：论文研究-栅极刻蚀中点状腐蚀缺陷的预防 .pdf

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更新时间：2022-09-06 12:36:28

多晶硅栅极刻蚀

栅极刻蚀中点状腐蚀缺陷的预防，樊涛，许昕睿，对于深亚微米的多晶硅栅poly gate刻蚀工艺来言，由于栅氧层的厚度已经变得非常的薄，如何精确控制等离子体刻蚀过程是人们面对的一个