MEMS的发展现状和介绍.pdf

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更新时间：2023-08-21 03:22:30

MEMS

ＭＥＭＳ固体波动陀螺仪采用特有的中心轴对 称的敏感结构，使其具备全 角测量能力，即直接 测量输入角度。相比于传统的角速度测量方式， 角度信 息需要通过对角速度信号进行积分求得， ＭＥＭＳ固体波动陀螺仪直接测量输 入角度