文件名称：Scanned-Spot-Array EUV Imaging for High Volumeless Maskless Lithography：无掩模EUV光刻系统的设计数据和光学仿真代码-matlab开发
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更新时间：2024-06-19 10:01:56
matlab
此 MATLAB 程序随附以下出版物： KC Johnson，“用于大容量无掩模光刻的扫描点阵列极紫外成像” J. 瓦克科学。 技术。 B 30, 051606 (2012) [ http://dx.doi.org/10.1116/1.4752112 ] 该程序为 Schwarzschild EUV 投影光学器件和 Schupmann 波带片微透镜双合透镜提供光学设计数据，如上述出版物所述； 并模拟系统光线追踪性能。 封装的局部函数为透镜、反射镜和衍射光栅提供了通用的光线追踪能力。
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