切削液对金刚石线锯切割单晶硅片质量的影响 (2008年)

【文件属性】：

文件名称：切削液对金刚石线锯切割单晶硅片质量的影响 (2008年)

文件大小：235KB

文件格式：PDF

更新时间：2024-06-04 03:38:35

自然科学 论文

选择4种切削液进行了电镀金刚石线锯切割单晶硅片的试验，研究了不同种类切削液对硅片的表面形貌、表面粗糙度、翘曲度和总厚度偏差的影响，分析了切削液对线锯切片过程的作用机理。研究结果表明，合成液对提高硅片的表面形貌质量，降低硅片的表面粗糙度、翘曲度和总厚度偏差的综合效果最好。