文件名称：金刚石线锯切割对砷化镓切片表面质量的影响 (2010年)
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更新时间：2024-06-15 21:11:39
自然科学 论文
采用金刚石线锯对直径65 mm的单晶砷化镓棒材进行切割实验，锯丝线速度分别为0.8，2.5 m?s-1，进给速度分别为0.6，1.5，2.5 mm?min-1。应用原子力显微镜（atomic force microscopy，AFM）测量切割后砷化镓切片的表面粗糙度，根据脆塑转变中的滑移理论分析了金刚石线锯切割砷化镓晶体的加工过程。结果表明：当进给速度为0.6 mm?min-1，线速度为2.5 m?s-1时，切割表面平整，无崩碎现象，表面粗糙度值达55.21 nm.提高线速度，表面粗糙度减小；提高进给速度