【文件属性】：
文件名称：VLSI制造工艺
文件大小：49.29MB
文件格式：ZIP
更新时间：2020-11-25 13:18:07
VLSI 集成电路制造
VLSI是超大规模集成电路(Very Large Scale Integration)的简称，指几毫米见方的硅片上集成上万至百万晶体管、线宽在1微米以下的集成电路。这是上课的PPT，喜欢的可以下载哦，
【文件预览】：
VLSI制造工艺
----0-绪 论.pdf(5.68MB)
----2-热氧化工艺.pdf(1.14MB)
----CMOS集成电路制造工艺流程.docx(296KB)
----第九周VLSI-CMOS集成电路制造工艺.pptx(2.68MB)
----研-CMOS集成电路制造技术PPT()
--------研-CMOS集成电路制造技术PPT()
----VLSI-CMOS集成电路制造工艺改.ppt(3.06MB)
----VLSI复习整理.docx(208KB)
----研-CMOS集成电路制造技术PPT.zip(15.25MB)
----N阱硅栅CMOS集成电路制造工艺流程.doc(4.92MB)
----4-光刻.pdf(4.01MB)
----1-硅单晶制备及清洗工艺.pdf(2.53MB)